? 住友精密工業(yè)技術(shù)（上海）有限公司

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當(dāng)前位置：首頁 - 產(chǎn)品中心

全內(nèi)置設(shè)計(jì)GRF系列

產(chǎn)品特點(diǎn)
1、可搭載于19英寸機(jī)架
2、內(nèi)置流量以及壓力控制器
3、連接濃度儀實(shí)現(xiàn)濃度的高穩(wěn)定性（反饋控制）
4、高純度臭氧氣體（采用全陶瓷結(jié)構(gòu)的放電單元）
5、高耐壓，長壽命的高可靠性放電單元
6、快速啟動(dòng)以及精準(zhǔn)的濃度響應(yīng)性能

性能表

規(guī)格

臭氧濃度

210g/m3(N)

臭氧流量

1L/min ～ 14L/min

外形尺寸

W483mm×H266mm×D454mm

冷卻水溫度

20℃±2℃

冷卻水流量

1 ～ 10L/min

電源

AC200V 3相